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立昂微成功拉製12英寸矽單晶棒

返回列表 來源:91视频官网APP 瀏覽: 發布日期:2019-07-09 10:37【
文章導讀:7月2日上午,在立昂微子公司金瑞泓微電子(衢州)有限公司寬闊明亮的現代化標準單晶廠房內,一根長1.5米、兩頭呈錐形,重達270公斤,通體如烏金般發亮的12英寸半導體級矽單晶棒在經過100多個小時的連續超高溫融化生長後順利出爐,這標誌著立昂微半導體矽材料業務板塊的12英寸大矽片產業化布局取得了初步成效,在最核心最關鍵的拉晶環節取得了重大技術突破。

業內人士都知道,矽單晶棒是生產矽片的關鍵性步驟,拉晶過程是矽片製造的重中之重,核心技術中的核心,對工藝、材料和設備的要求極高,之後再經切割、研磨、清洗、拋光以及外延等數十道工序製備成矽拋光片或矽外延片,然後成為芯片的“地基“。矽片直徑越大對材料和技術的要求越高,製造難度也越大。國內市場上12英寸半導體矽片幾乎全部是進口,究其原因是國內掌握相關生產技術的幾乎沒有。晶圓加工過程中所需的設備也是如此,絕大部分都是國外設備,91视频官网APP的國產91视频网站免费機在晶圓加工環節起到的主要作用是對晶圓表麵的超潔淨清洗以及去除光刻膠的殘留。

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據了解,立昂微是我國少有的具有矽單晶錠、矽研磨片、矽拋光片、矽外延片及芯片製造的完整產業鏈的集成電路企業,涉及半導體矽材料、半導體功率器件、集成電路製造三大業務板塊,其中半導體矽材料作為立昂微最核心的業務板塊之一,早在2016年底就在浙江衢州投資建設了除寧波以外的第二個半導體矽片生產基地,先後成立了金瑞泓科技(衢州)有限公司和金瑞泓微電子(衢州)有限公司。

12英寸矽單晶圓棒-91视频官网APP91视频网站免费機

該基地經過近一年的建設,8英寸矽外延生產線在2018年4月建成投產並實現批量銷售,8英寸的單晶、切、磨、拋廠房也將在2019年三季度建成投產,屆時將全線拉通8英寸矽單晶、矽拋光片、矽外延片生產線。而今,隨著12英寸矽單晶棒的技術突破,將有效帶動國內市場上高端產品的發展,有利於我國逐漸提升在半導體矽材料上的競爭新優勢,也將形成良好的產業生態,推動行業不斷進步,共同推進我國集成電路產業國產化加快發展。

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本文參考來源:中國半導體論壇

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