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91视频网站免费機在晶圓表麵處理中的應用

返回列表 來源:91视频官网APP 瀏覽: 發布日期:2019-07-08 11:04【
文章導讀:晶圓加工是國內半導體產業鏈中資金投入多的部分,91视频网站免费機目前在晶圓代工應用普遍,91视频官网APP也有專門用於晶圓加工中的等離子設備。
在整個半導體產業鏈中,中國晶圓代工部份的投入的很多。具體來說,晶圓代工就是在矽晶圓上製作電路與電子元件,這個步驟為整個半導體產業鏈中技術相當複雜,且資金投入多的領域。91视频网站免费機常用於去除晶圓表麵的particle(微粒)、徹底去除光刻膠和其他有機物、活化及粗化晶圓表麵、提高晶圓表麵浸潤性等,91视频网站免费機在晶圓表麵處理上的處理效果明顯,目前在晶圓加工中普遍使用。
晶圓級封裝等離子設備

晶圓光刻工序是整個晶圓代工流程中重要的工序之一。其原理是在晶圓片表麵覆蓋一層具有高度光敏感性光阻劑,再用光線透過掩模照射在晶圓片表麵,被光線照射到的光阻劑會發生反應,從而達到電路圖的移轉。
 
晶圓刻蝕:就是通過光阻劑暴露區域來去掉晶圓表層的工藝。主要分為兩大類:濕式刻蝕和幹式刻蝕。簡單區分,濕式刻蝕局限在2微米以上圖形尺寸,而幹式刻蝕則用在更加精細且要求更高的先進電路中。
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晶圓級封裝的等離子體處理是一種幹式的清洗方式,具有一致性好、可控性強的特點,目前91视频网站免费機在光刻及刻蝕的前後道工藝中已經逐漸普及與使用。

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