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自動化91视频网站免费機

返回列表 來源:91视频官网APP 瀏覽: 發布日期:2023-03-09 13:02【
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自動化91视频网站免费機清洗流程
半導體器件放置:將需要清洗的半導體器件放置在清洗室中。
真空處理:使用真空泵係統將清洗室的環境壓強降低到一定程度。
加氣體:通過氣體控製係統加入氫氣、氧氣等氣體,使其在高頻電場的作用下轉化為等離子體。
清洗:等離子體中的離子和自由基與表麵的有機物、金屬等雜質發生反應,將其分解、氧化、還原等,最終清除表麵雜質。
氣體清除:清洗結束後,通過氣體控製係統排出氫氣、氧氣等氣體,避免對半導體器件造成影響。
通氣:使用真空泵係統將清洗室內的氣體排出,恢複環境壓強。
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取出器件:將清洗完的半導體器件取出。
自動化91视频网站免费機注意事項
1、溫度:不同產品對溫度的能耐程度是不一樣的,所以要考慮冷卻,控製處理室內的溫度。
2、時間:處理時間是經過驗證的,不要隨意進行改動以免影響處理效果。
3、氣體:不同氣體的處理效果不一,合適的氣體配方才能獲得好的處理效果。
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等離子體清洗對器件表麵有一定的腐蝕作用,可能會對器件造成損傷,需要注意清洗條件和清洗時間的控製。

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