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2. 氣體流量和壓力:需要控製氧氣的流量和壓力,以保證等離子體的產生和穩定運行。
3. 處理室尺寸:處理室尺寸會影響處理的樣品尺寸和數量。
4. 處理時間:處理時間會影響處理效果和生產效率。
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5. 溫度控製:需要控製處理室內的溫度,避免過高或過低溫度對樣品產生不良影響。
6. 自動化程度:具有不同的自動化程度,如手動操作、半自動化、全自動化等,具體根據工藝需求進行設計。
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