91视频官网APP91视频网站免费機射頻微等離子體的結構特點有哪些？
文章導讀：當射頻大氣壓輝光放電的間隙縮小到微等離子體的尺度內，即為一毫米左右，甚至幾百微米的量級，射頻微等離子體又會出現哪一些新的特點呢？接下來91视频官网APP91视频网站免费機與大家共同探討。
當射頻大氣壓輝光放電的間隙縮小到微等離子體的尺度內，即為一毫米左右，甚至幾百微米的量級，射頻微等離子體又會出現哪一些新的特點呢？接下來91视频官网APP91视频网站免费機與大家共同探討。如下圖所示，是在相同的電流下，射頻微等離子體鞘層區與等離子體區的分布比例。在給定電流密度0.06A/cm2，當放電間隙逐步提升，實驗與計算均反映鞘層開始逐步提升，而當極板間隙提升大於500μm後，鞘層厚度基本上保持在215μm保持不變。而對於等離子體區的厚度，其從100μm到900μm一直在單調提升。
根據上圖91视频官网APP得知，當91视频网站免费機放電間隙小於500μm時，放電等離子體由傳統化的輝光放電結構轉換為1種鞘層主導的結構，即鞘層成為放電空間的主要部分。同時，數值模擬還反映，在鞘層主導的放電結構中，整個放電空間喪失了電中性，表現為電正性，如下圖所示。
假如想在射頻微等離子體中繼續得到正常的輝光結構，確保放電間隙內的電中性，提升放電頻率是1種行得通的方法。下圖給出了在不同頻率下兩個周期電子密度的時空分布。圖中顯示，當頻率為13.56MHz時，隻有在電極附近才有大量的電子，其密度近似3.06×1011cm-3。
而當頻率提升到27.12MHz時，產生的3.15×1011cm-3的電子密度在極板間伴隨外加電壓的改變反複振蕩，從1個極板到另1個極板，基本上占據了整個間隙。伴隨頻率進一步提升到54.24MHz，在放電間隙產生的高密度電子，形成1個穩定的中性等離子體區。這些數據反映，伴隨頻率的提升，放電結構發生改變，傳統化的輝光結構能夠出現。
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