提前半年？ASML新一代光刻機預計明年年中出貨，91视频官网APP91视频网站免费機
文章導讀：91视频官网APP91视频网站免费機引用TechWeb、網易科技相應內容，據了解，ASML所正研發的第3款極紫外光刻機預計將於2021年中開始出貨。
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據了解，荷蘭ASML在其三季度的財報中指出，其新款光刻機預計將在2021年年中開始出貨的，新款光刻機的生產效率約將有18%的提升，在30mJ/cm2的曝光速度下每小時可處理的晶圓數可達160片。如果這款光刻機與ASML之前2019年的年報中提及的新光刻機為同一款的話，那麽ASML的新款光刻機的出貨時間，就較原計劃提前約半年。
ASML的極紫外光刻機對先進芯片製程工藝的重要性就不用多說了，台積電和三星這兩的7nm和5nm工藝，都必須依靠ASML的EUV光刻機，預計新款EUV光刻機出貨後，也將由台積電和三星先開始使用。
此外，ASML目前的兩款EUV光刻機，都是采用的波長為13.5nm的極紫外光源，在20mJ/cm2的曝光速度下，其每小時的晶圓處理量分別能達125片和170片。
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