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返回列表 來源:91视频官网APP 瀏覽: 發布日期:2025-06-19 09:05【
文章導讀:通過對工藝氣體施加電場使其電離化為等離子體,等離子體中的 “活性” 組分包括離子、電子、原子、自由活性基團、激發態的核素、光子等。利用這些活性組分的性質進行氧化、還原、裂解、交聯和聚合等物理和化學反應,改變樣品表麵性質,從而實現清潔、改性、刻蝕等目的。
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原理

       通過對工藝氣體施加電場使其電離化為等離子體,等離子體中的 “活性” 組分包括離子、電子、原子、自由活性基團、激發態的核素、光子等。利用這些活性組分的性質進行氧化、還原、裂解、交聯和聚合等物理和化學反應,改變樣品表麵性質,從而實現清潔、改性、刻蝕等目的。

結構組成

       清洗室:是等離子體產生和清洗作用發生的空間,內部通常有電極等部件用於產生等離子體。
       等離子發生器:產生等離子體,常見的有射頻等離子發生器、微波等離子發生器等,不同類型的發生器適用於不同的工藝需求和材料。
       氣體控製係統:精確控製通入清洗室的工藝氣體的種類、流量和壓力,以保證等離子體的穩定產生和清洗效果的一致性。
       傳動裝置:用於傳送待清洗的物體,使其能夠連續地通過清洗室,實現在線式的連續清洗。傳動方式可以是皮帶傳動、鏈條傳動等多種形式。
       PLC 控製係統:對設備的整體運行進行自動化控製,包括設定和監控清洗參數(如功率、時間、氣體流量、傳動速度等),以及實現設備的啟動、停止、故障報警等功能。
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性能特點

       高效連續處理:能夠與生產線無縫銜接,實現物體的連續清洗,大大提高了生產效率,適合大規模工業化生產。
       自動化程度高:由控製係統精確調節各項參數,操作簡單,減少了人工幹預,提高了清洗質量的穩定性和一致性,同時也降低了人工成本。
       適用性廣:可處理多種材料,如金屬、塑料、陶瓷、玻璃等,也能適應不同形狀的物體,包括平麵、曲麵、異形等,還可根據需要進行局部清洗或整體清洗。
       環保無汙染:清洗過程無需使用化學溶劑,不會產生廢水、廢氣等汙染物,對環境友好,也避免了化學溶劑對操作人員健康的危害。
       處理效果好:等離子體與物體表麵的汙染物反應劇烈且均勻,能夠有效去除各種汙垢、氧化物、有機物等雜質,同時還可以對物體表麵進行活化處理,提高表麵的附著力、親水性等性能。

應用領域

       半導體行業:用於芯片表麵清洗,去除雜質,提高芯片附著力和可靠性,減少封裝過程中的問題。
       醫療行業:對醫療器械進行表麵改性處理,形成氧化層,提高表麵硬度、耐磨性和抗腐蝕性。
       汽車製造行業:清洗汽車零部件表麵,去除汙垢等雜質,提升塗裝質量和附著力。
       光學領域:清洗光學元件表麵,去除汙垢和氧化物,提高透光率和清晰度。
       能源領域:清洗太陽能電池板、燃料電池等表麵,去除雜質,提高能源轉換效率。
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    ‌廣泛適用‌:適用於多種材料表麵,包括金屬、陶瓷、玻璃、塑料等,不會對材料性能產生負麵影響。

    ‌工藝可控‌:通過調整工作氣體種類、壓力、功率等參數,可精確控製清洗過程‌。


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