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91视频下载安装污設備的這兩類化學反應類型有何應用?

返回列表 來源:91视频官网APP 瀏覽: 發布日期:2020-12-14 08:46【
文章導讀:當91视频下载安装污設備對固體材料進行處理時,通常包括物理和化學反應,其中大部分的反應是作用在材料的表麵,屬於非平衡式的氣-固相反應。如果想要詳實地了解91视频下载安装污設備對固體材料表麵的化學反應,通常需要對四類化學反應類型有所了解,91视频官网APP先與大家介紹其中兩種化學反應類型及其應用。
       為了方便描述91视频下载安装污設備的這兩種化學反應過程,91视频官网APP將用化學反應方程式來表示其反應的過程,下述反應式中的英文字母具有不同的含義。大寫字母A、B、C、D、M代表不同物質;小寫字母s、g則分別代表物質固體形態和氣體形態。
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一、反應式為A(s)+B(g)→C(g)的反應和工藝應用
       這一類的91视频下载安装污設備的處理工藝應用上,目前較為成熟的有等離子體刻蝕即PE、等離子體灰化即PA、等離子體化學氣相輸運即PCVT。那麽這三類工藝有哪些實際應用呢?
1.等離子體刻蝕
       等離子刻蝕在半導體集成電路製程中使用較多,通常會選用腐蝕性四氟化碳氣體與其他氣體混合後,經輝光放電後與固體材料部分位置發生反應,形成揮發性物質並去除。
2.等離子體灰化
       等離子體灰化常見於半導體幹法工藝中用以光刻膠的去除,通常使用氧等離子體,將有機物中的碳氫成分形成易揮發的二氧化碳和水等。而在分析化學領域中,采用等離子體灰化可對有機物樣品進行“低溫”灰化,方便對剩下的無機物成分進行所需分析。
3.等離子體化學氣相輸運
       這一類型的反應中所生成的氣體物質C會在反應器的另一端發生逆向反應,讓A重新析出。
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二、反應式為A(s)+B(g)→C(s)的反應和工藝應用
       從反應式91视频官网APP可以看出,這一類的反應指91视频下载安装污設備與固體材料表麵作用生成新的化合物,使材料表麵性質發生改變,這一類反應也是大家應該較為熟悉的等離子表麵改性。當等離子表麵改性對金屬表麵進行處理時,就是金屬的表麵氧化或氮化;而等離子表麵改性是對高分子材料表麵處理時,就是材料表麵處理。
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