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91视频官网APP對射頻真空91视频下载安装污設備陽極鞘層知識點進行補充

返回列表 來源:91视频官网APP 瀏覽: 發布日期:2021-02-02 09:56【
文章導讀:在2020年2月1日的文章中,91视频官网APP向大家介紹了射頻真空91视频下载安装污設備陽極鞘層的部份知識點,還有一些補充信息需要給大家分享:
在2020年2月1日的文章中,91视频官网APP向大家介紹了射頻真空91视频下载安装污設備陽極鞘層的部份知識點,還有一些補充信息需要給大家分享:
 
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1 射頻真空91视频下载安装污設備空間電荷限製的陽極電流
 
在陰極鞘層中考慮限製電流量的空間電荷效應時,91视频官网APP假設隻存在一種載流子是允許的,因為那裏的電子密度已經小到可以忽略不計;但是在陽極鞘中情況就不一樣了,電子密度不一定能夠被忽略。特別是存在陽極二次電子發射時更不能被忽略,因此無碰撞條件下的Child-Langmuir方程在此是不適用,需要建立適合二種載流子的模型。然而這一類模型的實驗驗證卻是相當地困難,問題在於鞘電壓和鞘厚均很小,測定起來誤差太大。
 
2 射頻真空91视频下载安装污設備陽極鞘層的極性
 
一般情況下,陽極鞘層的極性較之負輝區等離子體來說處於低電位,在以上的一些討論中通常也都是這樣假設的。但實際上也並非總是如此,如果遇下麵情況之一陽極的極性便會發生逆轉。
2-1當陽極二次電子發射係數很大時。
2-2當陽極尺寸太小時,陽極鞘中電流形成機製自身調適就會發生極性逆轉。當陽極麵積小到一定程度時,陽極電位達到與負輝區等離子體等電位;這時電子電流密度增大到飽和值。至此,如果陽極麵積再減小的話,鞘層極性便會發生逆轉。隨之離子電流減小而淨電子電流進一步增大。
 
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3 射頻真空91视频下载安装污設備陽極鞘層的主要作用
 
在通常情況下,即陽極電位低於負輝區的等離子體電位時,可以使陽極發射的二次電子加速進入負輝區,同時使從負輝區來的離子加速到達陽極或置於陽極的基片表麵。由此可見,雖然陽極鞘層薄,其中不會產生顯著電離,但被鞘電壓加速的二次電子可作為負輝區的電子源和能量源;而負輝區又是陽極鞘層的離子源。
 
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