等離子體表麵處理設備工藝氣體控製的控製閥有什麽作用？
文章導讀：真空型等離子體表麵處理設備工藝氣體控製是設備氣路控製的重要組成，控製工藝氣體的控製閥主要有真空電磁閥、止逆閥、氣動球閥三種，它們分別的作用有哪些？應該如何選擇呢？
用於氣路控製的控製閥種類繁多，等離子體表麵處理設備所常用的氣路控製閥，如按操作的方式分，可分為自動控製閥與手動控製閥；按控製的方式分，則可分為電磁閥與氣動控製閥；如按工作時的壓力分，可分為真空閥和低、中壓控製閥等。真空型等離子體表麵處理設備上的工藝氣體控製閥起到什麽樣的作用呢？這些選擇的小技巧你應該知道。
一、真空電磁閥
真空電磁閥是與等離子體表麵處理設備的真空腔體相連，起到保證設備密封性和真空度的作用。在常規的工藝氣體控製上，所使用的一般都是真空電磁閥，並且因為工藝氣體都是單路控製的，所以在真空電磁閥的選擇一般都為兩位兩通式的真空電磁閥。
二、氣動球閥
等離子體表麵處理設備的氣動球閥口徑較大、耐腐蝕性好，且具備高真空密封性的特點，當等離子體表麵處理設備需通入特殊的單體時，一般會選擇氣動球閥。根據使用的實際需求，可選用兩通式或三通式的氣動球閥。
等離子體表麵處理設備的氣動球閥口徑較大、耐腐蝕性好，且具備高真空密封性的特點，當等離子體表麵處理設備需通入特殊的單體時，一般會選擇氣動球閥。根據使用的實際需求，可選用兩通式或三通式的氣動球閥。
三、止逆閥
止逆閥也叫止回閥，在氣路控製的主要起到的作用是防止氣體回流，保護氣路控製部分的其他器件以及防止相互反應氣體發生匯合。需要提醒大家的是，在止逆閥的使用中還需注意其標注的氣流方向。下圖是等離子體表麵處理設備中較為典型的真空電磁閥和止逆閥搭配使用的情況。
止逆閥也叫止回閥，在氣路控製的主要起到的作用是防止氣體回流，保護氣路控製部分的其他器件以及防止相互反應氣體發生匯合。需要提醒大家的是，在止逆閥的使用中還需注意其標注的氣流方向。下圖是等離子體表麵處理設備中較為典型的真空電磁閥和止逆閥搭配使用的情況。
以上就是等離子體表麵處理設備工藝氣體控製的三種控製閥的各自作用及選擇的建議，控製閥在等離子體表麵處理設備的工藝氣體控製上起到重要作用，如果您想要了解更多關於等離子體表麵處理設備的詳細內容或在設備使用中有疑問，歡迎點擊91视频官网APP的在線客服進行谘詢，或者直接撥打全國統一服務熱線400-816-9009，91视频官网APP恭候您的來電！
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