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真空91视频网站免费設備(CCP式)電極饋入的方式有哪些?

返回列表 來源:昆山91视频官网APP 瀏覽: 發布日期:2018-08-11 20:48【
文章導讀:CCP 容性耦合等離子體 (capacitively coupled plasma)是目前國內常見的真空91视频网站免费設備電極放電形式,有些愛學習的小夥伴想了解一下電極饋入方式,91视频官网APP的技術人員給大家簡單介紹如下,僅供參考:
真空91视频网站免费設備CCP容性耦合等離子體放電使用的電極饋入方式常見的有兩類:

1、第1類是通過定製的銅棒+聚四氟乙烯絕緣件配合饋入到腔體內,在腔體內銅棒與連接排連接在一起。
真空91视频网站免费設備電極板上也安裝相應的連接件。連接方式可以是插針公母頭連接、銅片+彈片配合連接以及連接排與電極板通過銅帶利用螺絲鎖定連接。下圖為常用的插針公母頭連接的示意,其他連接隻是在腔體內部有區別。

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2、另外一類是在真空91视频网站免费設備電極板上焊接連接棒,通過定製的絕緣套與焊接的連接棒配合,連接至腔體外;在腔體外再用導電排連接在一起,然後與等離子發生器的輸出連接在一起。這一類主要是用於水冷電極結構連接,如是水冷電極結構那麽焊接的連接棒為中空結構,這樣就可以中通水、連接棒外接射頻。具體結構需根客戶要求而定。下圖為連接示意(僅為示意圖,實際結構會有所區別)。

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