91视频网站免费機處理二氧化矽薄膜材料的過程是什麽樣的？
文章導讀：在使用91视频网站免费機的等離子工藝對材料進行輔助處理的過程中，氣相和固體表麵上發生的化學反應起到了關鍵性的作用。低溫91视频下载安装污機在刻蝕二氧化矽薄膜時也是如此，91视频下载安装污設備的典型反應器中的發生過程如下圖所示。這裏所標注的通入氣體是四氟化碳和氧氣的混和物，等離子體由射頻或微波電場激發。
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電子碰撞電離過程產生了各種離子，如CF3+、CF2+、O2+、O-和F-等；而電子碰撞分解過程產生了CF3、CF2、O和F等自由基。在氣相中和在二氧化矽表麵上發生的化學反應會產生另外一些分子，如CO、CO2、SiF2和SiF4等。這些粒子的濃度和能量分布影響著91视频下载安装污機反應器的性能指標，如刻蝕速率、各向異性指數和選擇性等。
一些普通物理化學過程決定了這些粒子的濃度。這些過程包括電子-離子對的產生；自由基的產生；負離子的產生；氣相化學反應；離子向表麵的輸運；自由基向表麵的輸運；表麵相反應。整個反應的過程用式子可以分別表達如下。
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