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1、滿足無塵級別的要求,機殼材質和表麵處理:鑄鐵噴塑、不鏽鋼鋼鏡麵
2、真空腔體即反應腔體的材質:石英玻璃、鋁質和不鏽鋼
3、電極結構:水平平板電極、水平柱狀電極、垂直平板電極、垂直柱狀電極,組合櫃式電極即料盒式電極、帶水冷或加熱的電極、感應式電極等
 
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